首先充入大氣，拆去聯結水管，卸去電爐盤和噴嘴，泵腔及泵膽分三次清洗，先用汽油將清洗一遍，再用洗衣粉清洗一遍，然后用清水徹底清洗干凈。

       等到曬干之后，重新加入泵油，裝好泵膽，并裝回機體，便可以重新開機。在重新開機前，要注意檢漏工作。啟動維持泵，關好大門，數分鐘后，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會燒環，無法進入工作狀態。

       真空鍍膜設備每完成二百個鍍膜程序以上，應清潔工作室一次，鍍膜設備廠家表明用燒堿飽和溶液反復擦洗真空室內壁，注意**不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷，目的是使鍍上去的膜料鋁與燒堿發生反應，反應后膜層脫落，并釋放出氫氣，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的污垢。

      真空鍍膜設備里面的粗抽泵連續工作三十天就要換新油，將泵內的舊油全部排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量。