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PECVD等離子體增強化學...
化學氣相沉積采用等離子體增強型化學氣相沉積技術，能夠利用高能量等離子體促進反應過程，有效提升反應速度，降低反應溫度。適用...
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CVD化學氣相沉積系統
CVD（化學氣相沉積）氣相沉積系統是一種常用的薄膜制備技術，通過在高溫下將氣體反應物質與基底表面反應，形成薄膜
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派瑞林真空氣相沉積
派瑞林真空氣相沉積（PECVD）是一種常用的薄膜沉積技術，用于在材料表面上制備薄膜。它是在真空環境中使用氣相化學反應來沉...
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PECVD氣相沉積
PECVD氣相沉積在超大規模集成電路、光電器件、MEMS等領域具有廣泛的應用
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旋轉等離子增強CVD化學沉...
旋轉等離子增強CVD化學沉積系統十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾，旋轉等離子增強CVD...
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雙溫區滑道旋轉管式爐CVD...
雙溫區滑道旋轉管式爐CVD系統十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾，雙溫區滑道旋轉管式爐C...
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等離子增強物理化學氣相沉積...
等離子增強物理化學氣相沉積HPCVD包括一臺雙溫區管式爐，一套鎢絲蒸發源，一套等離子發生裝置以及一套質量流量計系統，等離...
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晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝...
晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置包括三溫區管式爐，特殊設計的爐管及配套氣路一組，晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置通過特殊設計的管...
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